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第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路

  第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路 (第2/2页)
  
  .........
  
  “笼促配位团簇?”
  
  众人看着屏幕上那前所未闻的名词,神情都是有发懵。
  
  见状,林决将PPT画面切掉,关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。
  
  “在我的新方案中,要用到的核心理论,来自于笼腔电子势自捕理论,配位零解离稳定,库仑场可控缔合,无扩散局域反应......”
  
  这些理论在高端功能材料,配位凝聚态领域,都是非常前沿的分支。
  
  在座作为国内顶尖材料方面学者,对其基本都是有所涉猎。
  
  不过在他们印象中。
  
  像库伦可控,局域无扩散这俩理论。
  
  以往都是用于设计储能,电响应软物质的.......
  
  众人还是头一次看到,有人将他们用到极紫外感光成像之中来!
  
  ..........
  
  接下来的一个小时里。
  
  林决从框架上,大概跟众人讲述了下自己的思路。
  
  不过,由于其中理论有理论颇具深度,也只有像袁泽成这般的顶级工程师,才能勉强跟上。
  
  等到阐述完毕后。
  
  林决目光扫了眼众人,自信开口,
  
  “.......嗯,这套理论大概就是如此,大家可以先讨论讨论......有什么看法,等下也可以和我提。”
  
  下方众人先是沉默了一会儿,然后,便开始了激烈的讨论。
  
  “这套理论确实很让人惊讶,但让最后让静电作用于图案,如果工况稍微波动,到时候图形很可能全部漂移吧?
  
  如此一来,品控照样难以保证。”
  
  “是啊,还有长期累积电子过载怎么办?笼结构可是非常容易崩解的!”
  
  “我怎么觉得这个想法非常惊艳啊!
  
  而且在理论上来说,林教授的方法,基本可以做到完全根除光路污染,打破RLS制衡!
  
  简直不要太牛逼。”
  
  “我赞成!我们如果走和国外研发同样的道路,估计永远追不上迭代速度。
  
  林教授想法虽然激进了一些,但却有弯道超车的希望!”
  
  会议室里,激烈的吵闹声混作一团。
  
  黄作平见状,在一边对林决笑道,
  
  “林教授......看来大家都是活力满满啊。”
  
  这样的争论从来都不是坏事。
  
  重大的理论突破,颠覆性的技术革新,本就需要如此的淬炼才行!!!
  
  始作俑者林决只是微微耸肩,以表无辜。
  
  终于......
  
  在约莫十分钟的争论后,现场氛围终于逐渐缓和。
  
  袁泽成作为在座最有资历的工程师,此时被推出来发问,
  
  “林......林教授,我还是有个疑虑......”
  
  “请说。”
  
  “笼促结构人工合成难度极高,您也清楚,只要存在少量破笼,整个EUV高能光子依旧会被打乱。
  
  最后导致的结果,和真空污染其实并没有什么差别......”
  
  “是的。”
  
  林决点了点头,并未否认这套理论的缺陷。
  
  闻言,袁泽成继续道,
  
  “......从工程上来说,我们还没成熟的产业链......容错率太低,沉没到时候拉都拉不回来......”
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