第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路 (第1/2页)
　　
　　黄作平：“？？？？”
　　
　　袁泽成：“？？？？”
　　
　　众人：“？？？？”
　　
　　当林决说出这话后，在场众人目光一下就变得有意思了起来。
　　
　　袁泽成的手在空中挥了，表情错愕，仿佛想说些什么，但又找不到合适的形容。
　　
　　过了好半晌之后。
　　
　　终于。
　　
　　袁泽成才像是回过神来一般，带着些许不敢置信，
　　
　　“......已经想到合适方案！？”
　　
　　林决微微点头，
　　
　　“是的，在组建班子的这两天里，我认真研究了下光刻胶新的可行思路......”
　　
　　说到这里，他轻轻一笑，
　　
　　“大家都是业内专家，肯定也都清楚，目前全世界所有EUV光刻胶，无论是有机CAR，亦或者金属MOR......
　　
　　成像原理，无不都依赖于化学键。”
　　
　　“没错.....”
　　
　　袁泽成闻言点头。
　　
　　这件事情确实如林决所言。
　　
　　无论是国内国外，目前关于光刻胶的研发，都是在光子照射，到分子键断开，然后结构破坏，最后溶解改变，完成材料。
　　
　　虽然每家机构，在之中工程上有着明显差异，但底层逻辑，却是一样的。
　　
　　“这已经是最成熟的方法了，但如果要创新，恐怕不是一朝一夕就能成，说不定更浪费时间......”
　　
　　毕竟创新不但要花费大量人力物力试错。
　　
　　而且最后的结果，也大概率达不到预期。
　　
　　他更愿意的是......
　　
　　看到林决在已有的框架上，对产品进行优化。
　　
　　“袁教授要不先听听我的想法？”
　　
　　林决对袁泽成倒是没啥意见。
　　
　　真理是辩出来的。
　　
　　在研发过程中，工程师在意见不合时，拍桌子互骂的情景，再常见不过了。
　　
　　再者......
　　
　　袁泽成作为魔都光机所的带头人。
　　
　　刚被调过来打下手，可能目前还没适应身份。
　　
　　劝林决，也几乎是职业养成的下意识反应。
　　
　　袁泽成一愣，“额......您说。”
　　
　　见状，林决便打开电脑的投影仪。
　　
　　下一刻。
　　
　　一个标题出现在众人眼中。
　　
　　【笼促配位团簇EUV光刻胶研发思路】。
　　
　　这个想法，其实早在冯宴发生意外前，林决便在考虑的了。
　　
　　最后......
　　
　　先是通过开启【超频】找到思路，最后经过【全知】进行验证后。
　　
　　林决终于完成了这套方案。
　　
　　其核心思路。
　　
　　是彻底抛弃化学键成像机制，利用自主构建EUV激发二次电子，通过静电场缔合，完成溶解度切换。
　　
　　全程不破坏分子结构，不拖落配体！
　　
　　其中，最让林决满意的是，这种方法从根源上.......
　　
　　完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———
　　
　　真空出气污染！！
　　
　　目前全世界做法。
　　
　　只要进行曝光，那么必然产生有机碎片。
　　
　　如此一来，金属小分子便必然会挥发，然后逆流，给光路镜面，pelliCle薄膜造成污染。
　　
　　这是传统方法不可逆的缺陷！
　　
　　但林决却能大力出奇迹，直接窥探到一条全新路径。
　　
　　
　　
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